動圈武力馬達型單級電液伺服閥

單級電液伺服閥沒有先導級閥，由電氣機械轉換器和一級液壓閥構成，其結構和原理均較簡單。圖10 (a)所示為動圈式力馬達型單級電液伺服閥結構圖，它由力馬達和帶液動力補償結構的一級滑閥兩部分組成。永久磁鐵1產生一固定磁場，可動線圈2通電后在磁場內產生力，從而驅動滑閥閥心4運動，并由右端彈簧8作力反饋。閥左端的位移傳感器5可提供控制所需的補償信號。因閥心帶有液動力補償結構，故控制流量較大，響應快。額定流量為90～100L/min的閥在±40%輸入幅值條仵下，對應相位滯后90°時，頻響為200Hz，常用于冶金機械的高速大流量控制。

動圈式力馬達型單級電液伺服閥的原理框圖如圖10 (b)所示。